| 专利名称 | 反射蝇眼式光束均匀器 | 申请号 | CN200320109295.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2655260 | 公开（授权）日 | 2004.11.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 叶震寰;楼祺洪;董景星;魏运荣;凌磊 | 主分类号 | G02B5/09 | IPC主分类号 | G02B5/09;G02B5/10;G02B27/14;H01S3/00 | 专利有效期 | 反射蝇眼式光束均匀器 至反射蝇眼式光束均匀器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种用于准分子激光的反射蝇眼式光束均匀器， 其特征是将n2 (n为正整数)小块 方形的镀有全反膜的凹面镜固定在同一块方形基板上组合成n ×n的蝇眼式反射镜阵列板，由两组完全相同的蝇眼式反射镜 列阵板平行且与入射光束成45°地错位放置，并在光束的输出 方向垂直于输出光束设置一透镜组成。每小块方形的镀有全反 膜的凹面镜具有相同的曲率半径。本实用新型的反射蝇眼式光 束均匀器，具有加工难度小，对加工材料要求不高，价格低廉， 全反膜的损耗也很小。 |
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