| 专利名称 | 基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置 | 申请号 | CN03209960.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2655175 | 公开（授权）日 | 2004.11.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张彩妮;王向朝 | 主分类号 | G01B11/26 | IPC主分类号 | G01B11/26;G01B9/02;H01S5/00;H01L33/00 | 专利有效期 | 基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置 至基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移 测量装置，它包含有带驱动电源的调制光源，沿着该调制光源 发出的光束的前进方向上置有光束准直物镜和反射镜，在反射 镜的反射光束的前进方向上置有待测物体，在该待测物体反射 光的前进方向上置有F－P板和分束镜，该分束镜的端口b透 射光束方向上置有透镜和光电转换元件，该光电转换元件与连 接计算机的模数转换元件相连，在该分束镜的端口c反射光束 方向上置有CCD图像探测器，该CCD图像探测器与连接计算 机的模数转换元件相连。 |
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