| 专利名称 | 一种基于压电陶瓷驱动器驱动的并联微定位平台及微定位平台系统 | 申请号 | CN201110147905.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102324253A | 公开（授权）日 | 2012.01.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 舒强;施宁平;饶学军;凡木文 | 主分类号 | G12B5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G12B5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于压电陶瓷驱动器驱动的并联微定位平台及微定位平台系统 至一种基于压电陶瓷驱动器驱动的并联微定位平台及微定位平台系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 基于压电陶瓷驱动器驱动的并联微定位平台及系统包括：微动台和基板及控制系统，微动台包括动平台及四个柔性铰链，在动平台相邻的两侧分别布置着单个和一对并排的压电陶瓷驱动器，压电陶瓷驱动器一端与动平台之间通过一个万向铰连接，另一端通过另一万向铰与预紧弹簧连接，预紧弹簧由螺钉预紧；在动平台上表面，沿每个压电驱动器轴线方向分别布置着一个电容传感器；电容传感器的一片位于固定在微动台外侧的一个传感器支架上，另一片位于固定在动平台上表面的另一传感器支架上，采用计算机闭环控制。本发明有效提高位移直线度和定位精度，消除耦合，避免驱动器分离，保护压电驱动器。采用增广噪声模型的LQG算法有效抑制窄带地基扰动，提高定位精度。 |
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