一种三轴爪型真空泵

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专利名称 一种三轴爪型真空泵 申请号 CN201010565664.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101985937A 公开(授权)日 2011.03.16 申请(专利权)人 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 发明(设计)人 巴德纯;刘坤;岳向吉;张振厚;王光玉 主分类号 F04C25/02(2006.01)I IPC主分类号 F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I 专利有效期 一种三轴爪型真空泵 至一种三轴爪型真空泵 法律状态 著录事项变更 说明书摘要 本发明涉及一种真空泵,具体涉及一种三轴爪型真空泵。包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子,爪型转子组之间用隔板隔开,所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。不仅提高了泵的工作效率和抽气效率,还增强了泵工作的稳定性。

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