一种三轴罗茨真空泵

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专利名称 一种三轴罗茨真空泵 申请号 CN201010565609.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101985935A 公开(授权)日 2011.03.16 申请(专利权)人 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 发明(设计)人 刘坤;巴德纯;岳向吉;李培印;王光玉;张振厚 主分类号 F04C25/02(2006.01)I IPC主分类号 F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I 专利有效期 一种三轴罗茨真空泵 至一种三轴罗茨真空泵 法律状态 著录事项变更 说明书摘要 本发明涉及一种真空泵,具体涉及一种三轴罗茨真空泵。包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有罗茨转子,所述的从动轴有两根,平行且对称的装配在主轴的两侧。本发明具有结构紧凑、结构对称、三作用抽气和泵腔内无油的特点,能实现较大的抽气速率。

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