| 专利名称 | 一种高体积比能量密度微能源系统及其制作方法 | 申请号 | CN201110180049.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102347518A | 公开（授权）日 | 2012.02.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 周健;孙晓玮;谈惠祖;周舟;周建华;王伟;刘正新 | 主分类号 | H01M10/46(2006.01)I | IPC主分类号 | H01M10/46(2006.01)I;H01M10/058(2010.01)I | 专利有效期 | 一种高体积比能量密度微能源系统及其制作方法 至一种高体积比能量密度微能源系统及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种高体积比能量微能源系统及制作方法，其特征在于所述的系统由a)用金刚石钻头在玻璃衬底上打孔，孔为两个相对的空心圆台；b)在玻璃衬底正面和背面溅射Al薄膜，Al膜的厚度填满空洞深度，实现双面Al互联；c)在Al背面依次沉积氮化钴镍、LiPON薄膜、Li薄膜和Al薄膜；d)在未覆盖电池多层膜的Al膜表面安装能源管理模块和RF收发模块；e)在玻璃正面Al表面依次沉积n型微晶硅、i型GexSi1-x，0＜x＜1，p型非晶硅和含3％Al的AZO；f)用Au线连接AZO、Li电池阳极、能源管理模块输出端、RF收发模块输出端。采用方法为溅射沉积方法，制作微能源系统体积比能量密度大于291.9W/L，为物联网节点微型化、便携性、长时供电及野外应用提供技术手段。 |
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