| 专利名称 | 温控可充气真空辐射设备 | 申请号 | CN201110252532.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102339655A | 公开（授权）日 | 2012.02.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 曾传滨;毕津顺;刘刚;罗家俊;韩郑生 | 主分类号 | G21K5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G21K5/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I | 专利有效期 | 温控可充气真空辐射设备 至温控可充气真空辐射设备 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种在电子元器件辐射实验中使用的温控可充气真空辐射设备，包括：限定了辐照腔的罩体；携载电子元器件容装在辐照腔内的器件盘；可开闭的封盖结构，其连接于罩体的开口端，以在闭合时气密密封辐照腔；固定于封盖结构的线缆接头；温控系统，其包括辐照腔内的温控板以及穿过封盖结构的冷媒输入和排出管路，温控板的冷媒腔室经冷媒输入和排出管路接收和排出冷媒，其电加热装置电连接到线缆接头；以及抽空充气系统，其包括穿过封盖结构的抽空充气管路和辐照腔外的第一阀门装置，以经该阀门装置和抽空充气管路对辐照腔抽空或充气。本发明的辐射设备可为电子元器件辐射实验准确提供各种温度、气体成分环境，有利满足了电子元器件辐射效应研究的需求。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障