| 专利名称 | 一种高功率紫外激光器输出光束特性测试方法 | 申请号 | CN201210484372.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102944378A | 公开（授权）日 | 2013.02.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 李斌成;刘卫静 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高功率紫外激光器输出光束特性测试方法 至一种高功率紫外激光器输出光束特性测试方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种高功率紫外激光器输出光束特性测试方法，该方法利用紫外光学元件在紫外光照射下由于缺陷等的存在而产生荧光的特性，通过测量荧光强度分布及荧光强度与入射激光强度的关系计算得到紫外激光器输出光束分布特性。由于紫外光学元件损伤阈值高，并且在紫外光照射下产生的荧光相对较弱，本方法可对高功率紫外激光器输出光束特性直接测量，不需要使用光束取样器件和能量衰减装置对激光束进行衰减，不存在由于光束取样器件和衰减器件引起的测量误差。 |
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