| 专利名称 | 大功率微波等离子体炬 | 申请号 | CN02281293.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2582330 | 公开（授权）日 | 2003.10.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院金属研究所 | 发明（设计）人 | 杨永进;张劲松;徐兴祥 | 主分类号 | H05H1/46 | IPC主分类号 | H05H1/46;H01P5/00 | 专利有效期 | 大功率微波等离子体炬 至大功率微波等离子体炬 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种大功率微波等离子体炬，包 括可调谐同轴谐振腔、矩形波导，所述矩形波导内设波导/同轴 转换装置，所述波导/同轴转换装置为门扭块和介质单线上下扣 合的门扭结构，所述波导/同轴转换装置分别与矩形波导上下表 面紧密接触连接，所述可调谐同轴谐振腔由位于波导上下两侧 并与波导/同轴转换装置同轴的上腔、下腔，以及波导/同轴转 换装置共同构成，内导体一端插装于下腔，另一端依次贯穿介 质单线、门扭块、上腔，上腔的内外导体之间沿轴线方向设有 谐振腔短路活塞，所述矩形波导一端设有微波源，另一端设有 波导短路活塞。本实用新型解决了激发维持机构复杂、调节不 方便、功率水平低等问题，可应用于气相化学反应、材料的合 成和加工等。 |
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