| 专利名称 | 测温结点悬浮的薄膜热电偶 | 申请号 | CN02240535.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2578988 | 公开（授权）日 | 2003.10.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 周一欣;刘静 | 主分类号 | H01L35/00 | IPC主分类号 | H01L35/00;G01K7/02 | 专利有效期 | 测温结点悬浮的薄膜热电偶 至测温结点悬浮的薄膜热电偶 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种测温结点悬浮的薄膜热电 偶，包括由固体绝缘材料制做的永久性基底，热电偶薄膜和热 电偶薄膜，热电偶薄膜和热电偶薄膜分别镀覆 于永久性基底的表面上，其相重叠的测温结点与永久性基底表 面不接触，呈悬浮状；测温结点悬浮于永久性基底的上方或一 侧，永久性基底材质为陶瓷、硅片、玻璃或有机聚合物；形状 为薄片、细管或细杆形状；热电偶薄膜厚度为1纳米－0.1毫 米，其材质为相配对的金属材料；配对材料为铂铑－铂、镍铬 －康铜、半导体或金属氧化物；该测温结点悬浮的薄膜热电偶， 由于测温的结点与永久性基底相脱离，形成悬空或悬臂结构， 因此可以显著减小结点的热惯性，提高对所测量对象温度变化 的响应速率。 |
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