| 专利名称 | 金刚石膜气体检测传感器 | 申请号 | CN02244312.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2566267 | 公开（授权）日 | 2003.08.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 顾长志;贾继奎;刘维;窦艳 | 主分类号 | G01N27/04 | IPC主分类号 | G01N27/04;G01N27/12 | 专利有效期 | 金刚石膜气体检测传感器 至金刚石膜气体检测传感器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种包含金刚石膜/纳米金刚石 膜，用于检测气体的传感器。该传感器包括：衬底、在衬底的 一个面上有一层金刚石膜/纳米金刚石膜；其特征在于：在金刚 石膜/纳米金刚石膜上的两边各设置一条形金属电极，Au丝测 量引线连接在其上；在衬底的另一面制作一金属加热电阻，加 热电阻的测量引线连接在加热电阻两端的。本实用新型的金刚 石膜/纳米金刚石膜气体传感器具有高选择性，高灵敏度，快速 的响应与恢复，良好的一致性及耐高温和抗辐射等高稳定性的 优点，同时具有工艺简单，便于集成化的特点，因而适于大批 量、低成本生产。 |
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