专利名称 | 具有碳纳米管结构的随机存储器 | 申请号 | CN02239613.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN2566463 | 公开(授权)日 | 2003.08.13 | 申请(专利权)人 | 中国科学院物理研究所 | 发明(设计)人 | 赵继刚;王太宏 | 主分类号 | H01L27/04 | IPC主分类号 | H01L27/04 | 专利有效期 | 具有碳纳米管结构的随机存储器 至具有碳纳米管结构的随机存储器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种具有碳纳米管结构的随机 存储器,包括以Si作为衬底,该衬底上有SiO2绝缘层、碳纳米管、栅极和电极;栅极位于Si衬底上SiO2绝缘层中的一条沟槽之中,其内沉积Al及经表面氧化形成的Al2O3绝缘层,栅极并与一电阻相连接,该电阻与恒压源相连接;两电极平行于栅极在栅极两侧,位于碳纳米管之上或之下,其第二电极还带有一条方向与栅极垂直的一段,该段与栅极相接触,其中第一电极接地,第二电极与开关相连接,同时栅极与第二电极在衬底上短路相连;一根碳纳米管垂直于栅极和两个独立的电极,平直放置在SiO2绝缘层的表面上,并与Al2O3绝缘层表面和电极表面相接触。该存储器容量为1bit的信息存储,且结构简单,易于制作和集成。 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障