可在室温下工作的具有高集成度的单电子存储器

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专利名称 可在室温下工作的具有高集成度的单电子存储器 申请号 CN02240126.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN2566464 公开(授权)日 2003.08.13 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 孙劲鹏;王太宏 主分类号 H01L27/04 IPC主分类号 H01L27/04;H01L27/10 专利有效期 可在室温下工作的具有高集成度的单电子存储器 至可在室温下工作的具有高集成度的单电子存储器 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型涉及具有高集成度的单电子存储器, 包括:以硅作为衬底,其表面氧化形成二氧化硅绝缘层,在其 上设置栅极、电极和数据线引脚;其中两个电极、一个栅极和 数据线引脚,是由位于二氧化硅绝缘层上的导电层形成的;两 个电极具有间距;一碳纳米管在两个电极之上,与两个电极欧 姆接触;栅极位于两个电极的一侧;并在衬底的另一边设置数 据线引脚;另一根碳纳米管在栅极和数据线引脚之上,并与两 者欧姆接触;碳纳米管上有两个隧穿结,二者之间形成碳纳米 管上的一个量子点。该方法制备出的量子点可以在室温下出现 库仑阻塞现象,因此器件可在室温下工作,通过测量碳纳米管 晶体管的电流可以实现存储器数据的读出。

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