碳纳米管式集成场效应管

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专利名称 碳纳米管式集成场效应管 申请号 CN02239615.2 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN2556790 公开(授权)日 2003.06.18 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 赵继刚;王太宏 主分类号 H01L27/00 IPC主分类号 H01L27/00;H01L29/772 专利有效期 碳纳米管式集成场效应管 至碳纳米管式集成场效应管 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型涉及一种碳纳米管式集成场效应管; 该集成场效应管是在绝缘层上制作相间的栅极和电极,将一根 超长碳纳米管放置于其上;在一些栅极上通一定值恒压,使超 长碳纳米管部分截止;其效果等效为若干个碳纳米管场效应 管,实现了碳纳米管场效应管集成;本实用新型的结构简单、 易于制作和集成。

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