双调制光源全光纤位移测量仪

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专利名称 双调制光源全光纤位移测量仪 申请号 CN01253677.6 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN2506975 公开(授权)日 2002.08.21 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 王向朝;步扬;王学锋 主分类号 G01B9/02 IPC主分类号 G01B9/02 专利有效期 双调制光源全光纤位移测量仪 至双调制光源全光纤位移测量仪 法律状态 授权 说明书摘要 一种双调制光源全光纤位移测量仪,包括两个被 调制的原光源。两原光源发射的调制光束经过全光纤连接的三 个环形器和两个光纤耦合器分别到达参考反射元件和被测物 体。由参考反射元件和被测物体反射回来的光束在光纤耦合器 中产生干涉。光电转换元件将接收到的干涉信号转换为电信号, 一路经过数模转换器送到计算机。另一路经过反馈控制电路分 别送到第一驱动电源和第二驱动电源。本实用新型与在先技术 相比,本实用新型采用了光热光频调制,采用了全光纤代替在先 技术中的透镜、分束器等光学元件,所以,本实用新型体积小,重 量轻,结构紧凑,抗干扰能力强,测量精度高,测量范围由在先技 术的数百纳米扩大到厘米量级。

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