控制激光器系统的有效工作温度的方法和装置

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专利名称 控制激光器系统的有效工作温度的方法和装置 申请号 CN201210139416.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102842841A 公开(授权)日 2012.12.26 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 赵江山;李慧;沙鹏飞;宋兴亮;鲍洋;彭卓君;周翊;王宇 主分类号 H01S3/041(2006.01)I IPC主分类号 H01S3/041(2006.01)I 专利有效期 控制激光器系统的有效工作温度的方法和装置 至控制激光器系统的有效工作温度的方法和装置 法律状态 授权 说明书摘要 本发明公开了一种控制激光器系统有效工作温度的方法和装置,所述激光器系统主要包括气体高压放电腔体,该放电腔体在气体高压放电工作过程中产生热量,所述方法包括如下步骤:在激光器系统的开机过程中,对激光器系统的放电腔体进行预加热,使所述放电腔体达到有效工作温度;在激光器系统的放电腔体达到有效工作温度后,停止加热,开启放电腔气体高压放电工作运转,而后针对所述放电腔体高压放电运转产热进行冷却散热,使该放电腔体维持在有效工作温度。本发明综合利用了加热和冷却两方面的措施,可以有效地减少激光器系统的预热时间,减少能源消耗,同时有效散热,控温精度高,保障激光器系统在有效工作温度条件下的有效运转。

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