| 专利名称 | 一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法 | 申请号 | CN201110056408.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102179000A | 公开（授权）日 | 2011.09.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李刚;朱壮晖;周亮;赵建龙 | 主分类号 | A61N1/05(2006.01)I | IPC主分类号 | A61N1/05(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法 至一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法，该方法利用热解图形化光刻胶形成的碳膜作为导电层，结合聚合物包覆形成绝缘层制作柔性神经微电极。相比传统的基于贵金属(如铂、金、铱等)的柔性神经微电极，基于碳膜的柔性神经微电极具有更好的电化学稳定性和生物相容性，且易于通过光刻和微纳压印等手段制作三维高比表面积的电极位点，可大大提高电极的电荷注入能力和生物安全性，有助于实现植入式神经微电极的长期安全、有效、可靠和高分辨率的刺激效果。且该电极制作方法与基于金属的微电极制作方法相比，具有工艺简单、成本低、可重复性强，设计灵活的优势。 |
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