单光源激振测振谐振传感器

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专利名称 单光源激振测振谐振传感器 申请号 CN200710048184.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101149275 公开(授权)日 2008.03.26 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 李中梁;王向朝;刘英明;王少卿 主分类号 G01D5/26(2006.01)I IPC主分类号 G01D5/26(2006.01)I;G01H9/00(2006.01)I;G01H13/00(2006.01)I 专利有效期 单光源激振测振谐振传感器 至单光源激振测振谐振传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种单光源激振测振谐振传感器,其结构包括:由第一驱动电源驱动的带有温 度控制器的光源,沿该光源出射光前进方向依次通过光纤段连接的隔离器、耦合器、 固定着正弦相位调制装置的准直器,准直器出射光方向有一谐振器,正弦相位调制 装置由第二驱动电源驱动;第二光电转换器的输出端与第二前置放大器的输入端相 连;封装在光源内部的第一光电转换器的输出端与第一前置放大器的输入端相连; 第一前置放大器的输出端、第二前置放大器的输出端和第二驱动电源的调制信号输 出端分别与数据处理器的输入端相连;该信号处理器的输出端与信号监视器相连。 本发明系统结构简单,易于实现微谐振器的光热激励,可同时高精度的得到谐振器 的谐振频率和振动位移曲线。

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