| 专利名称 | 一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法 | 申请号 | CN200710045967.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101127308 | 公开（授权）日 | 2008.02.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 高相东;李效民;于伟东 | 主分类号 | H01L21/368(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/368(2006.01)I | 专利有效期 | 一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法 至一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法，其特点 是将超声辐照技术与连续离子层吸附与反应方法相结合，薄膜沉积过 程由若干个循环组成，每个循环包含四步：(1)阳离子前驱体溶液的 吸附；(2)衬底超声辐照；(3)阴离子前驱体溶液的反应与吸附；(4) 衬底超声辐照。阳离子前驱体采用金属锌的无机盐或有机醋酸盐与络 合剂配制而成，络合剂可选择乙二胺或氨水等；阴离子前驱体采用无 机硫化物如硫化钠；衬底为普通玻璃、石英玻璃、ITO导电玻璃、单 晶硅、蓝宝石或其他材料。本发明的特点是：所得ZnS膜层致密的 ZnS纳米粒子构成，粒子尺寸小至10-30nm；制作方法简单，成本低 廉，无须加热或使用昂贵的真空设备，适合于规模化生产。 |
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