| 专利名称 | 一种离子束运动截面的调整装置 | 申请号 | CN201120533666.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202352612U | 公开（授权）日 | 2012.07.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 李海洋;曲丕丞;赵无垛;陈平;崔华鹏 | 主分类号 | H01J49/40(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J49/40(2006.01)I;H01J49/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种离子束运动截面的调整装置 至一种离子束运动截面的调整装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种离子束运动截面的调整装置，主要由前置电极、对电极a和b、后置电极组成。前置和后置电极用于减少对电极a、b的电场向外渗透。对电极a和对电极b上添加不同的电压。当离子束在对电极a、b运动的过程中，各个离子经过的路程相同，但因为对电极a、b的电压不同，离子在对电极a和b的运动时间不同，导致离子束离开对电极b时的截面发生变化。通过改变对电极a和b的接口形状和电压，使得离子束在离开对电极b时可以形成特定的形状。此外，根据需要可多级串联使用，对离子束进行多维度调节。 |
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