全光场偏振像差检测装置及检测方法

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专利名称 全光场偏振像差检测装置及检测方法 申请号 CN201210091180.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102607819A 公开(授权)日 2012.07.25 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 曹绍谦;步扬;步鹏;王向朝;张敏;汤飞龙;李中梁 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 全光场偏振像差检测装置及检测方法 至全光场偏振像差检测装置及检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种全光场偏振像差检测装置及检测方法。该装置包括:全偏振态发生器PSG、全偏振态分析器PSA及信号处理和控制系统。该检测方法包括:改变法拉第旋转器上加载偏控电压的大小,进行第一次测量;改变法拉第旋转器上加载偏控电压的大小,进行第二、三、四次测量;根据算法对四次测量结果进行处理。本发明具有装置结构简单、共光轴且稳定、测量无需机械转动、算法简单、高空间分辨率且测量速度较快的特点。

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