| 专利名称 | 一种检测大口径光学系统波前的装置 | 申请号 | CN201110344363.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102507155A | 公开（授权）日 | 2012.06.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 汪利华;杨伟 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种检测大口径光学系统波前的装置 至一种检测大口径光学系统波前的装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是一种大口径光学系统波前的检测装置，包括干涉仪、五维调整台、数控转台、数控电动位移台、标准自准直平面镜、二维调整架、计算机控制和数据处理系统，其特点在于：将大口径光学系统波前划分成多个子孔径波前，由干涉仪和标准自准直平面镜检测大口径光学系统的子孔径波前，通过数控转台和数控电动位移台控制标准平面镜运动，对子孔径进行扫描，并由干涉仪检测记录子孔径波前，使检测的子孔径波前覆盖整个大口径光学系统，由计算机控制和数据处理系统通过算法将子孔径波前拼接，得到大口径光学系统全孔径波前，完成对大口径光学系统波前检测。本发明结构简单、成本低，能检测≥1000mm的大口径光学系统波前像质。 |
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