| 专利名称 | 一种尖劈型超透镜的制备方法 | 申请号 | CN201210107639.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102621803A | 公开（授权）日 | 2012.08.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 罗先刚;王长涛;赵泽宇;冯沁;刘凯鹏;胡承刚;黄成;杨磊磊;陶兴;张鸶懿 | 主分类号 | G03F1/80(2012.01)I | IPC主分类号 | G03F1/80(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I;B82Y10/00(2011.01)I | 专利有效期 | 一种尖劈型超透镜的制备方法 至一种尖劈型超透镜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种尖劈型超透镜的制备方法，用于制造实现超分辨成像的尖劈型超透镜。其主要步骤为：在平整的紫外透明基底上依次涂布或沉积牺牲层和掩蔽层；在掩蔽层上涂光刻胶，曝光得到直线结构；将直线结构刻蚀传递到掩蔽层；用掩蔽层做掩蔽，对牺牲层进行各向同性刻蚀，使掩蔽层部分悬空；倾斜蒸镀多层膜；去除牺牲层、掩蔽层，得到尖劈型超透镜。本发明该方法只需要通过常规的光刻、IBE刻蚀、RIE刻蚀或湿法腐蚀、阴影蒸镀，就可以制备得到用于实现超分辨成像的尖劈型超透镜。 |
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