辐射温度场加速腐蚀的研抛装置

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专利名称 辐射温度场加速腐蚀的研抛装置 申请号 CN201220407154.9 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN202825476U 公开(授权)日 2013.03.27 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 马臻;许亮;丁蛟腾;陈钦芳 主分类号 B24B13/00(2006.01)I IPC主分类号 B24B13/00(2006.01)I;B24B13/005(2006.01)I 专利有效期 辐射温度场加速腐蚀的研抛装置 至辐射温度场加速腐蚀的研抛装置 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型提供一种辐射温度场加速腐蚀的研抛装置,主要解决了现有光学元件,尤其是非球面光学元件加工时成本较高,加工效率较低的问题。该辐射温度场加速腐蚀的研抛装置,包括用于承载被加工元件的承载机构和腐蚀液储液槽,承载机构使被加工元件全部浸泡在腐蚀液储液槽内;配置有透明磨具,与被加工工件机械接触;温度场生成设备与控制机构连接;所述承载机构和腐蚀液储液槽均固定设置于旋转轴上。本实用新型可实现非球面光学元件的快速抛光,适合与大口径光学元件的研磨抛光,成本低廉。

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