专利名称 | 一种加速度计 | 申请号 | CN201220488378.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN202815008U | 公开(授权)日 | 2013.03.20 | 申请(专利权)人 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 发明(设计)人 | 俞度立;于连忠;杨长春 | 主分类号 | G01P15/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种加速度计 至一种加速度计 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种加速度计,包括:测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片;所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块;所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接,每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置;所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。 |
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