深紫外激光光致发光光谱仪

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专利名称 深紫外激光光致发光光谱仪 申请号 CN201110087894.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102213617A 公开(授权)日 2011.10.12 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 金鹏;王占国 主分类号 G01J3/443(2006.01)I IPC主分类号 G01J3/443(2006.01)I;G01N21/64(2006.01)I 专利有效期 深紫外激光光致发光光谱仪 至深紫外激光光致发光光谱仪 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种深紫外激光光致发光光谱仪,包括:一全固态深紫外激光器;一真空样品室与全固态深紫外激光器连接;一真空单色仪与真空样品室连接;一第一真空维持系统与真空样品室连接;一第二真空维持系统与真空单色仪连接;一低温系统和控温装置与真空样品室通过法兰连接;一样品架三维调整装置与真空样品室连接;一稳态发射谱探测系统与真空单色仪连接;一时间分辨光谱探测系统与真空单色仪连接;一真空泄漏安全系统的第一、第二控制端与第一真空维持系统连接,第三、第四控制端与第二真空维持系统连接,第五控制端与低温系统和控温装置连接;一计算机控制装置用于控制真空泄漏安全系统、真空单色仪、低温系统和控温装置、样品架三维调整装置、稳态发射谱探测系统和时间分辨光谱探测系统。

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