| 专利名称 | 一种同步偏振相移干涉仪 | 申请号 | CN201210487244.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102944169A | 公开（授权）日 | 2013.02.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 艾华;杨鹏;曹艳波 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种同步偏振相移干涉仪 至一种同步偏振相移干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种同步偏振相移干涉仪，以HeNe激光器作为线偏振相干光源，包括：携带了标准镜和待测镜相位信息的参考光和测量光，分别被所述偏振分光棱镜反射和透射后合束到同一光路中，在该光路上分别依次设有1/4波片和分束棱镜；光束可被所述消偏振分束棱镜分为等幅值的两部分，分束后的两光路上分别设有偏振分光棱镜；光束经过所述偏振分光棱镜后的光路上分别设有图像采集装置。本发明的同步偏振相移干涉仪，使用波片和偏振棱镜结构，通过采用偏振光干涉，可同一时刻获得相位依次相差π/2的四幅干涉图，可消除气流和环境振动对测量的影响，可应用于光学系统现场检验，复杂恶劣环境的光学检验，并能实现连续动态测量。 |
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