AlGaN/PZT紫外/红外双波段探测器

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专利名称 AlGaN/PZT紫外/红外双波段探测器 申请号 CN200710041610.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101075647 公开(授权)日 2007.11.21 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 张燕;李向阳;孙璟兰;孟祥建 主分类号 H01L31/09(2006.01) IPC主分类号 H01L31/09(2006.01) 专利有效期 AlGaN/PZT紫外/红外双波段探测器 至AlGaN/PZT紫外/红外双波段探测器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种AlGaN/PZT紫外/红外双波段探测器,它利用复合探测材料AlGaN/PZT的双波段吸收特性,同时实现紫外光和红外光的探测。入射光束先经过AlGaN PIN结构,能量较高的紫外光被吸收,转化为紫外光电流;能量较低的红外光透过蓝宝石衬底,被PZT铁电薄膜吸收,形成的光电流通过铟柱倒焊接出。本发明的双波段探测器充分利用了不同材料的探测优势,实现了两个波段的同时探测;同时,此探测器工作于室温,简便易用。

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