| 专利名称 | 一种柔性电容式触觉传感器的制作方法 | 申请号 | CN200710037606.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101059380 | 公开（授权）日 | 2007.10.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 车录锋;肖素艳;李昕欣;王跃林 | 主分类号 | G01L1/14(2006.01) | IPC主分类号 | G01L1/14(2006.01);B25J19/00(2006.01);B81C5/00(2006.01) | 专利有效期 | 一种柔性电容式触觉传感器的制作方法 至一种柔性电容式触觉传感器的制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器的制作方法，其特征在于所述柔性电容式触觉传感器的制作包括PDMS的中间层准备，柔性PI衬底的制备，金属敏感电极及其电连接的图形化，第一高弹性介电层PDMS和第二柔性介电层PI的形成，金属驱动电极及其电连接的图形化，最上层柔性绝缘保护层PI的图形化和柔性电容式触觉传感器的分离。本发明通过工艺的优化整合，实现了有机柔性材料PDMS及PI与传统MEMS工艺之间的兼容性。所制作的电容式触觉传感器结构轻薄，机械强度高，可挠性好，可贴附在任意曲率表面同时感受法向力和切向力的大小，同样适合由众多这种柔性电容式触觉传感器单元组成阵列的制造。 |
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