一种无碲存储材料、制备方法及应用

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专利名称 一种无碲存储材料、制备方法及应用 申请号 CN200710040302.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101049934 公开(授权)日 2007.10.10 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 张挺;宋志棠;刘波;刘卫丽;封松林;陈邦明 主分类号 C01B33/06(2006.01) IPC主分类号 C01B33/06(2006.01);C23C14/35(2006.01);C23C14/06(2006.01);G11B7/24(2006.01) 专利有效期 一种无碲存储材料、制备方法及应用 至一种无碲存储材料、制备方法及应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及了一种无碲存储材料、制备方法及应用。其特征在于所述的存储材料为硅-锑混合物,组成通式为SixSb100-x,0<x<90,优先推荐组成为5≤x≤70。所述的材料在外部能量作用下为电驱动、激光脉冲驱动或电子束驱动。通过调整这种材料中两种元素的组份,可以得到具有不同结晶温度、熔点和结晶激活能的存储材料。所提供的材料体系具备如下优点:较好的可调性、较强的数据保持能力、较简单的成份和制备工艺、对半导体设备没有污染、较好的可加工性、环境友好性等,具有广阔的应用前景。硅-锑合金材料是用于存储器的理想存储介质。

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