| 专利名称 | 硅基太阳能电池表面氧化锌纳米阵列减反射层的制备方法 | 申请号 | CN201110135623.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102222728A | 公开（授权）日 | 2011.10.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 董文静;陈鑫;黄婵燕;戴宁 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I | 专利有效期 | 硅基太阳能电池表面氧化锌纳米阵列减反射层的制备方法 至硅基太阳能电池表面氧化锌纳米阵列减反射层的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种硅基太阳能电池表面氧化锌纳米阵列减反射层的制备方法。该方法是在硅基太阳能电池表面先利用原子层沉积或者溶液法制得一层氧化锌，退火后在前驱体水溶液中反应得到氧化锌纳米阵列减反射层。本发明的优点在于：有效地减少了硅基太阳能电池表面的光反射，在一定波长范围内提高了硅基太阳能电池的光电转换效率，且该氧化锌纳米阵列减反射层制备方法简单，实验温度低。 |
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