| 专利名称 | 光刻机空间像噪声评估及滤波方法 | 申请号 | CN201110164996.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102221789A | 公开（授权）日 | 2011.10.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 徐东波;王向朝;彭勃;闫观勇;段立峰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机空间像噪声评估及滤波方法 至光刻机空间像噪声评估及滤波方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机空间像噪声评估及滤波方法，包括下列步骤：采集测试标记的空间像；建立空间像噪声标准差和空间像理想光强；对所述的空间像噪声标准差进行主成分分析；利用最佳平滑因子对空间像进行二维样条平滑滤波，得到滤除噪声的空间像。本发明简单方便的滤除了空间像的噪声，提高了基于空间像求解波像差的求解精度及求解重复性。 |
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