基于半导体激光器跳模特性的气体测量方法及其传感器

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专利名称 基于半导体激光器跳模特性的气体测量方法及其传感器 申请号 CN200610117007.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1995973 公开(授权)日 2007.07.11 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 张永刚;李爱珍;齐鸣;封松林 主分类号 G01N21/25(2006.01) IPC主分类号 G01N21/25(2006.01);G01N21/49(2006.01) 专利有效期 基于半导体激光器跳模特性的气体测量方法及其传感器 至基于半导体激光器跳模特性的气体测量方法及其传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种基于半导体激光器跳模特性的气体测量方法和使用的传感器,其特征在于利用目标气体对激光器产生的特定波长激光的吸收特性进行气体浓度测量,也利用目标气体对同一激光器产生的相近特定波长激光的透过特性作为参比信号以抵消其他损耗和波动的影响。所使用的气体传感器的核心是一只具有稳定单模输出和跳模特性半导体激光器和一只光电探测器,适合于不同的气体光路,电路部分构成较简单,易于一体化、小型化和集成化。本发明所述的测量方法及使用的传感器是一种普适的采用半导体激光的气体传感器,具有很好的通用性。

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