| 专利名称 | 一种同时测量光学元件吸收损耗和表面热变形量的方法 | 申请号 | CN200610165084.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1971233 | 公开（授权）日 | 2007.05.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 李斌成 | 主分类号 | G01M11/00(2006.01) | IPC主分类号 | G01M11/00(2006.01);G01M11/02(2006.01);G01M11/08(2006.01) | 专利有效期 | 一种同时测量光学元件吸收损耗和表面热变形量的方法 至一种同时测量光学元件吸收损耗和表面热变形量的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种同时测量光学元件吸收损耗和表面热变形 量的方法，其特征在于：采用激光量热和表面热透镜联合技术 同时测量光学元件的吸收损耗绝对值和表面热变形量，并可监 视激光照射过程中光学元件吸收损耗的实时变化。本方法通过 测量加热激光束照射过程中光学元件的温度变化得到其吸收 损耗值，并通过测量光学元件因吸收加热激光束能量产生的表 面热变形导致的探测激光束中心光强变化幅值得到表面热变 形量，通过监测探测光束中心光强的实时变化监视吸收损耗的 实时变化及光学元件性能的稳定性。 |
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