| 专利名称 | 一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法 | 申请号 | CN200510086971.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1970432 | 公开（授权）日 | 2007.05.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 欧毅;白宏磊;石莎莉;申功炘;陈大鹏 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01) | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01);G03F7/00(2006.01) | 专利有效期 | 一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法 至一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及微电子器件制备技术领域，特别是一 种MEMS振动射流执行器芯片的制备方法，方法包括：1.采用 低压化学气相沉积的方法在硅衬底双面生长氮化硅膜；2.在硅 基片正面光刻出上电极图形；3.蒸发铬/金薄膜；4.超声剥离； 5.掩蔽刻蚀；6.在硅基片背面光刻腐蚀窗口图形；7.胶掩蔽刻蚀 背面腐蚀窗口上的氮化硅；8.湿法腐蚀释放拍动片结构；9.在 第二片硅片 上满片蒸发铬/金薄膜；10.在第二片硅片的金膜表面涂光学光 刻胶；11.将第一片硅片的背面与涂有光刻胶的第二片硅片粘 合；12.划片成线列器件；13.分别在上下硅片的金膜上焊接电 极引线。应用于小型无人飞行器上。 |
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