| 专利名称 | 一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法 | 申请号 | CN200510123888.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1972545 | 公开（授权）日 | 2007.05.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 欧毅;李大勇 | 主分类号 | H05B33/10(2006.01) | IPC主分类号 | H05B33/10(2006.01);H05B33/26(2006.01);H01L51/50(2006.01) | 专利有效期 | 一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法 至一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种硅基有机发光微显示(OLED)金属阳极及阴 极隔离柱的制备方法，属于微电子器件制备技术领域，其工艺 步骤如下：1.在硅基片表面上光刻出金属阳极图形；2.在光刻 出图形的硅片表面用电子束蒸发出铬/银薄膜；3.超声剥离；4. 反转光刻阴极隔离柱图形，完成制作。OLED具有可实现柔软 显示、色彩鲜艳、响应速度快、抗低温及工艺简单等优点，可 广泛应用于视频显示领域。本发明方法具有成本低和工艺简单 的优点。 |
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