| 专利名称 | 一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法 | 申请号 | CN200910098518.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101885609A | 公开（授权）日 | 2010.11.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 杨晔;张宇龙;赵俊华;张贤鹏;宋伟杰;谭瑞琴;崔平 | 主分类号 | C04B35/622(2006.01)I | IPC主分类号 | C04B35/622(2006.01)I;C04B35/624(2006.01)I;C04B35/453(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法 至一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温制备方法，其特征在于步骤依次为：(1)采用氧化锌基纳米粉体，经过30～150MPa的单轴模压成型，保压时间为30～300s；(2)将步骤(1)中的样品经150～300MPa的冷等静压，保压时间为60～600s；(3)将步骤(2)中的样品放入箱式炉中温烧结，烧结温度为800～1300℃，升温速率为0.5～10℃/min，烧结时间为4～40h，降温速率为1～10℃/min；(4)将步骤(3)中的样品经过切割、打磨、抛光，成规定尺寸；所述的氧化锌基纳米粉体是采用掺杂了硼、铝、镓、铟或者锡元素的掺杂氧化锌纳米粉体，掺杂量为0～18a?t％。靶材制备设备简单，成本低，适合于工业化生产。 |
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