| 专利名称 | 一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器 | 申请号 | CN200610117703.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1963450 | 公开（授权）日 | 2007.05.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 殷庆瑞;余寒峰;惠森兴;赵坤宇 | 主分类号 | G01N13/10(2006.01) | IPC主分类号 | G01N13/10(2006.01);G01N29/24(2006.01) | 专利有效期 | 一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器 至一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种扫描探针声学显微成像用低频、 高灵敏度、收发两用型传感器。所述的传感器是由高灵敏的机 电能量敏感元件、相关机械结构组成。所述的传感器工作频 率范围：2－30kHz，比通常的声学成像模式工作频率(几百kHz －几十MHz)低1－3个数量级，它基于扫描探针声学显微镜 (SPAM)的低频高分辨率的工作模式，用该探测器使成像系统 分辨率可达到5nm，图像清晰，对比度高。 |
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