| 专利名称 | 微机械热电堆红外探测器及其制作方法 | 申请号 | CN200610118474.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1960017 | 公开（授权）日 | 2007.05.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 熊斌;杨恒昭;李铁;王翊;王跃林 | 主分类号 | H01L35/32(2006.01) | IPC主分类号 | H01L35/32(2006.01);H01L35/34(2006.01);G01J1/42(2006.01);G01J5/12(2006.01) | 专利有效期 | 微机械热电堆红外探测器及其制作方法 至微机械热电堆红外探测器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及微机械红外热电堆探测器结构及其 制作方法，其特征在于作为红外吸收层的悬浮膜结构具有多种 形状的腐蚀开口，使用各向同性的干法刻蚀从正面腐蚀衬底形 成悬浮膜结构释放器件。探测器的衬底和悬浮于框架中间的红 外吸收层分别构成热电堆的冷结区和热结区，支撑臂连接框架 和红外吸收区并承载热电堆；中间悬浮的红外吸收层带有不同 形状的腐蚀开口，作为干法刻蚀工作气体进入衬底进行反应的 通道。采用了标准CMOS工艺中最常见的材料，便于实现和信 号处理电路的集成。使用了选择性很好的干法刻蚀形成红外吸 收层，相比传统的湿法腐蚀不仅简化了工艺流程，降低了对光 刻机的要求；同时不需考虑对其它材料的破坏，拓宽了探测器 可用材料的范围。 |
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