| 专利名称 | 微机械电容式加速度传感器及制作方法 | 申请号 | CN200610118484.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1959417 | 公开（授权）日 | 2007.05.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 熊斌;范克彬;车录峰;王跃林 | 主分类号 | G01P15/125(2006.01) | IPC主分类号 | G01P15/125(2006.01) | 专利有效期 | 微机械电容式加速度传感器及制作方法 至微机械电容式加速度传感器及制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种微机械电容式加速度传感器及 制作方法，属于微电子机械系统领域。其特征在于，最为关键 的就是通过可动质量块上下两面的弹性梁交错分布，不重合， 呈90°交叉或平行分布的设计，利用各向异性腐蚀技术，在 (100)单晶硅片上实现在无凸角补偿下矩形质量块的形成，同时 在质量块的上下两面形成直弹性梁结构。利用一般的硅硅键合 技术实现了三层硅片的键合。在上电极和中间电极引出的制作 上，通过可动质量块电极引出通孔和屋檐形遮挡台在一步淀积 上电极和可动电极的引线盘的同时，也实现了两个电极之间的 电信号隔离。本发明简化了制作微机械传感器的工艺，提高了 成品率，在提高器件灵敏度的同时也降低了交叉灵敏度，是一 种实用的加速度传感器。 |
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