| 专利名称 | 带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法 | 申请号 | CN200610118053.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1949508 | 公开（授权）日 | 2007.04.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 叶振华;周文洪;廖清君;胡晓宁;王晨飞;丁瑞军 | 主分类号 | H01L25/18(2006.01) | IPC主分类号 | H01L25/18(2006.01);H01L27/144(2006.01);H01L21/822(2006.01) | 专利有效期 | 带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法 至带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种带有增透会聚微镜的红外焦 平面探测器及微镜制备方法，该探测器，包括：红外光敏元列 阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和增透会聚微镜列阵。所说 的增透会聚微镜列阵是由红外光敏元列阵芯片的衬底背面生 长一增透膜，通过常规的等离子体组合刻蚀形成的。微镜制备 方法采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法，获得的 背向集成微透镜列阵的各个光轴在空间上与其对应的光敏像 元的光敏面中心法线重合。本发明的优点是：由于增透会聚微 镜中心区域的增透效果，以及周边区域的会聚作用，既能提高 新一代高密度像元红外焦平面探测器的光电流信号，又能减小 相邻像元之间的空间串音。 |
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