| 专利名称 | 单片双芯或多芯半导体激光气体传感器、制作及使用方法 | 申请号 | CN200610117006.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1945284 | 公开（授权）日 | 2007.04.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 张永刚;李爱珍;齐鸣;封松林 | 主分类号 | G01N21/25(2006.01) | IPC主分类号 | G01N21/25(2006.01);H01S5/00(2006.01) | 专利有效期 | 单片双芯或多芯半导体激光气体传感器、制作及使用方法 至单片双芯或多芯半导体激光气体传感器、制作及使用方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种单片双芯或多芯半导体激光气 体传感器，其特征在于它由封装于同一管壳热沉上的制作于同 一单片衬底上的激光器芯组成的单片双芯或多芯激光器、用于 热沉温度控制的热电控温电路、时分驱动电路、用于吸收和参 比光信号探测的光电探测器、放大及时分解调电路、以及比较 电路和显示输出电路组成。本发明利用目标气体对吸收激光器 产生的特定波长激光的吸收特性进行气体浓度测量，也利用目 标气体对参比激光器产生的相近特定波长激光的透过特性作 为参比信号以抵消其他损耗和波动的影响。此传感器的核心是 单片双芯或多芯半导体激光器和一只光电探测器，易于一体 化、小型化和集成化；是一种普适的采用 半导体激光的气体传感器，通用性强。 |
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