| 专利名称 | 掩模传输系统四象限对准装置 | 申请号 | CN200510105260.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1940734 | 公开（授权）日 | 2007.04.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院自动化研究所 | 发明（设计）人 | 谭民;徐德;王秀青;赵晓光;刘云;汪建华 | 主分类号 | G03F9/00(2006.01) | IPC主分类号 | G03F9/00(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 专利有效期 | 掩模传输系统四象限对准装置 至掩模传输系统四象限对准装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明掩模传输系统四象限对准装置，可以实现 掩模板位置与姿态信息的测量，据此通过夹持掩模板的掩模传 输机械手调整掩模板，达到所期望的位置和姿态。该装置包括 两个激光器、标有两个米字形对准标记的掩模板、两个滤光片、 接收米字形光斑的两个四象限光电探测器以及与之连接的信 号调理电路、A/D转换器和完成预对准的掩模传输机械手和驱 动机械手在平面中沿x、y方向平动及绕z轴旋转的驱动电机、 测量掩模传输机械手x、y方向位置的光栅尺、控制器等。本 发明装置结构简单、紧凑、对准精度高。 |
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