| 专利名称 | 置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片 | 申请号 | CN200610117105.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1936626 | 公开（授权）日 | 2007.03.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 叶振华;何力;胡晓宁;周文洪;吴俊;巫艳;丁瑞军 | 主分类号 | G02B5/20(2006.01) | IPC主分类号 | G02B5/20(2006.01);G01J5/00(2006.01) | 专利有效期 | 置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片 至置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种置于碲镉汞红外焦平面探测 器芯片内部的微型滤光片，所述的探测器芯片由衬底、衬底上 依次置有的缓冲层、响应红外目标辐射的光电二极管列阵组 成。所述的微型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层和 光电二极管列阵之间。本发明的微型滤光片的优点是：具有高 均匀性、高可靠性和无信号损失的特点；滤光波段是通过严格 控制作为原位滤光层的Hg1－ xCdxTe的组分来 实现的，从而具很高的控制精度；这种集成在红外焦平面探测 器芯片内部的微型滤光片无需任何外光路部件，使用方便，且 非常可靠和稳定。 |
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