| 专利名称 | 背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法 | 申请号 | CN200610117106.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1933149 | 公开（授权）日 | 2007.03.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 叶振华;周文洪;胡晓宁;王晨飞;丁瑞军;何力 | 主分类号 | H01L25/00(2006.01) | IPC主分类号 | H01L25/00(2006.01);H01L25/18(2006.01);H01L27/14(2006.01);H01L21/00(2006.01);G01J1/42(2006.01);G02B3/00(2006.01) | 专利有效期 | 背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法 至背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透 镜的制备方法，该探测器包括：红外光敏元列阵芯片、读出电 路、混成互连铟柱和微透镜列阵。微透镜列阵是在红外光敏元 列阵芯片的衬底背面直接通过微机械加工形成的。采用了记忆 焦平面探测芯片正面图形的光刻方法以及等离子体组合刻蚀 技术，获得的背向集成微透镜各个光轴在空间上与其对应的光 敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的最大优点是微透镜列 阵的引入，对入射目标红外辐射有会聚功能，既提高了红外焦 平面探测器光敏元的响应率，又能减小红外焦平面探测器、特 别是高密度像元的红外焦平面探测器相邻像元之间的空间串 音。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障