| 专利名称 | 用于保持密封容器内高真空的低温吸附组合抽气装置 | 申请号 | CN200510086355.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1928360 | 公开（授权）日 | 2007.03.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨海清;黎红;何艾生;李春光;张雪强;黄建冬;张强;孙亮;孟庆端;李翡;何豫生 | 主分类号 | F04B37/02(2006.01) | IPC主分类号 | F04B37/02(2006.01) | 专利有效期 | 用于保持密封容器内高真空的低温吸附组合抽气装置 至用于保持密封容器内高真空的低温吸附组合抽气装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种在低温电子器件密封容器内超 长时间保持高真空的低温吸附组合抽气装置，包括：吸附头和 传热板；其特征在于，所述吸附头是一具有至少一个孔状或槽 状大容量吸附区和至少一个孔状或槽状小容量吸附区的容器， 单个小容量吸附区与大容量吸附区的容积比值小于1∶5；所述 容量吸附区和小容量吸附区中放置吸附剂，所述吸附头中放入 吸附剂后，其上端使用金属丝网覆盖。本发明的低温吸附组合 抽气装置，不需要液氮储存筒，具有结构简单、紧凑、小巧的 特点。本发明使用时无需高温烘烤，并且对电子器件不存在附 加的强电、磁场干扰。在制冷机长期停机后，本发明能随制冷 机的启动自行启动，并达到超长时间保持制冷机密封容器内高 真空的要求。 |
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