四自由度真空调谐器

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专利名称 四自由度真空调谐器 申请号 CN200510095881.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1927552 公开(授权)日 2007.03.14 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 杨海清;黎红;李春光;张雪强;何艾生;何豫生;黄建冬;张强;孙亮;孟庆端;李翡 主分类号 B25J11/00(2006.01) IPC主分类号 B25J11/00(2006.01);B25J1/00(2006.01);H03J5/06(2006.01) 专利有效期 四自由度真空调谐器 至四自由度真空调谐器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种四自由度真空调谐器,包括带 有透明视窗的真空室及设置在真空室内的调谐工具和控制装 置,通过在真空室外部操纵该控制装置,所述调谐工具能够在 真空室内四自由度运动,在控制装置上设置有保持真空室的真 空状态的真空密封装置;本发明四自由度真空调谐器,模拟人 手调谐动作,操作者通过在真空室外操纵运动传动把手,就可 以实现调谐工具的四个自由度的运动,准确便利的完成在真 空、低温条件下对超导滤波器的调谐工艺。

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