一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法

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专利名称 一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法 申请号 CN201210237087.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102721478A 公开(授权)日 2012.10.10 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 田雨;饶学军;饶长辉 主分类号 G01J9/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/00(2006.01)I 专利有效期 一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法 至一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法,该方法的步骤为:(1)记录曲率波前传感器在焦平面两侧对称位置的离焦光斑I1(r)(焦点内侧)与I2(r)(焦点外侧),并生成曲率波前传感器信号S0(r)作为初始输入;(2)根据曲率波前传感器信号估计波前像差(3)加入边界条件限制得到像差(4)由估计曲率波前传感器信号S(r);(5)结合光瞳限制得到修正后的曲率波前传感器信号Sest(r);(6)根据结合离焦量l计算离焦光斑Iest,1(r);(7)比较I1(r)与Iest,1(r)的相似性,得到迭代停止判据,若条件满足则输出否则转向步骤(2)继续迭代。本发明利用在波像差与曲率波前传感器信号间的反复迭代,可以减少曲率波前传感器原理性的误差,得到高精度的波前测量结果。

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