一种微型电容层析成象传感器

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专利名称 一种微型电容层析成象传感器 申请号 CN200510093326.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1920545 公开(授权)日 2007.02.28 申请(专利权)人 中国科学院工程热物理研究所 发明(设计)人 刘石;李惊涛;董向元;赵树华 主分类号 G01N27/00(2006.01) IPC主分类号 G01N27/00(2006.01);H05K9/00(2006.01) 专利有效期 一种微型电容层析成象传感器 至一种微型电容层析成象传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种电容层析成象微型传感器,主要由测量电 极、隔离层、 端屏蔽和屏蔽罩组成。测量电极等间隔或不等间隔地排列,相 邻电极之间设置非常细微的绝缘隔离层。多个测量电极形成毛 细管的周壁,组合成精密的流动或传热通道。此环形通道即作 为ECT传感器,也作为测量对象的流动管道,具有所需的传 热和流动特性,如常规金属管壁所具有的热阻和摩擦系数等。 作为可选设置,测量电极两端可设有端屏蔽,也可有一圆筒形 屏蔽罩将整个传感器包围于内,端屏蔽和屏蔽罩接地保持零电 势。该微型传感器可以在不干扰测量对象流动和传热,不改变 测量对象热力特性的前提下,满足微尺度下两相流流动参数测 量的要求,例如能够测量微米级的液膜厚度。

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