冰模板制作微透镜阵列的加工方法

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专利名称 冰模板制作微透镜阵列的加工方法 申请号 CN200610017093.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1904648 公开(授权)日 2007.01.31 申请(专利权)人 中国科学院长春应用化学研究所 发明(设计)人 韩艳春;于新红;王哲;邢汝博 主分类号 G02B3/00(2006.01) IPC主分类号 G02B3/00(2006.01) 专利有效期 冰模板制作微透镜阵列的加工方法 至冰模板制作微透镜阵列的加工方法 法律状态 授权 说明书摘要 本发明涉及一种冰模板制作微透镜阵列的加工 方法。用水在带有正方形凹槽图案的弹性软模板表面的去润湿 行为,将水滴限制在弹性软模板表面的凹槽内,用水与冰之间 的可逆转变实现弹性软模板表面的水到基底的转移以及水滴 的球面形貌在聚合物薄膜中的形成,利用复制模塑将聚合物薄 膜表面的图案转移到其他聚合物表面,得到与液滴形貌一致的 微透镜结构。与光刻技术相比,本发明只需要冰箱和干燥箱等 简单的设备,不需要高温条件,工艺更简单。尤其是弹性软模 板可重复利用,加工得到的带有图案的薄膜也可以多次复制, 对目标图形的质量没有影响,成本更低。对基底表面性质的调 控,实现不同曲率的微透镜阵列。

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